昊华气体获河南省重大科技专项立项支持 |
时间:2022-08-09 来源:昊华公司 视力保护色: |
日前,河南省科技厅、财政厅发布《关于2022年度河南省重大科技专项立项的通知》,昊华气体联合申报的“集成电路用电子化学品关键技术研究及产业化”获立项支持。 该项目瞄准集成电路制造用电子材料,开展硅基基础材料、电子气体和光刻胶中间体研发与产业化,助力我国在器件核心材料制造等领域实现突破。昊华气体承担该项目子课题“光电子级超纯氨的工艺研究和产业化任务”。 河南省重大科技专项聚焦国家重大战略需求、河南省转型发展需要,重点围绕产业发展和服务民生公益的重大关键核心技术,提质龙头骨干企业技术创新水平,支撑产业升级发展。 |